Electron Microprobe，全名為電子探針X射線顯微分析儀，又名微區X射線譜分析儀?？蓪υ嚇舆M行微小區域成分分析。除H、He、Li、Be等幾個較輕元素外，還有U元素以后 的元素以外都可進行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經過加速和聚焦的極窄的電子束為探針，激發試樣中某一微小區域，使其發出特征X射線，測定該X射線的波長和強度，即可對該微區的元素作定性或定量分析。將掃描電子顯微鏡和電子探針結合，在顯微鏡下把觀察到的顯微組織和元素成分聯系起來，解決材料顯微不均勻性的問題，成為研究亞微觀結構的有力工具。